Ebara ESR20N S2 Mehrstufige Trockenvakuumpumpe, Pumpgeschwindigkeit 45 bis 70 CFM (1300 - 2000 l/m), KF-40, saubere bis mittelschwere Prozesse, wassergekühlt, dreiphasig, 200-220 V, 60 Hz.
Ebara-Teilenummer: 202093. Die Ebara ESR-Serie (Energy Saving Roots) sind mehrstufige Trockenvakuumpumpen, die für Anwendungen von sauberen bis zu mittelschweren Prozessen entwickelt wurden. Die Ebara ESR-Serie deckt einen weiten Pumpgeschwindigkeitsbereich von 45 bis 706 CFM mit einem Enddruck von nur 1,5 mTorr ab. Dieses Angebot gilt für den Verkauf der mehrstufigen Trockenvakuumpumpe Ebara ESR20N S2, saubere bis mittelschwere Prozesse, wassergekühlt, 200-220 V/3 Ph, Ebara-Teilenummer: 202093.
Anwendungen
- Sputtern
- PVD
- Ladeschleuse und Umladung
- Veraschung
- Ionenimplantierer
- Ätzen
- Saubere Gase und Prozesse
Vorteile und Merkmale der trockenen Drehkolbenpumpen der Ebara EV-A-Serie.
- Niedrige Betriebskosten [Strom, S2, Wasser, Stellfläche, Volumen, Gewicht]
- Für ESR20N ist bei sauberen Anwendungen keine Stickstoffspülung erforderlich
- Variable Pumpgeschwindigkeit passend zu den Anwendungsanforderungen
- Hochleistungsfähige bürstenlose Gleichstrommotoren
- Modernste Steuerungs- und Überwachungsgeräte
- Der Leerlaufmodus kann zur Erhöhung der Energieeinsparungen genutzt werden
- SEMI S2-zertifiziert, NRTL-gelistet, CE-gekennzeichnet