Inficon 10 mBar/7,5 Torr CDG020D Porter-Kapazitäts-Membranmessgerät, KF-16-Anschluss, FCC68-Anschluss.
Inficon-Teilenummer: 3CA4-961-0000. Dieses kapazitive Membranmessgerät CDG020D von Inficon Porter hat einen Vollbereich von 10 mBar (7,5 Torr), verwendet einen FCC68-Anschluss für Strom und Signal und hat eine Genauigkeit von < 0,5 % des Messwerts.
Die kapazitiven Membranmessgeräte der Serie CDG020D messen den absoluten Druck von Gasen und sind in Volldruckbereichen von 10 bis 1100 mBar oder Torr erhältlich. Verfügbare Flanschtypen sind KF-16, 4 VCR® männlich/weiblich oder 8 VCR® weiblich. Der Strom-/Signalanschluss ist entweder in FCC68, D-Sub 9-polig oder Binder M12, 8-polig verfügbar.
Die Messgeräte der Inficon CDG020D-Serie verfügen über ein kapazitives Sensorelement aus Aluminiumoxidkeramik und eine Elektronik, die Kapazitätsänderungen in einen Gleichspannungsausgang umwandelt. Das Ausgangssignal ist linear zum gemessenen Druck und unabhängig von der Gasart, sodass keine Umrechnungstabellen erforderlich sind.
Swagelok, VCR-TM Swagelok Company