Edwards APG200-XM Aktives Pirani-Vakuummeter NW25, KF25, 10-3 Torr. PN: D1G1021100

Das aktive Pirani-Vakuummessgerät APG200-XM von Edwards enthält einen Vakuumflansch NW25, KF25, ist kompakt für eine einfache Installation, hat einen linearen Ausgang und einen vom Benutzer austauschbaren Rohrsensor. Die neuen Messgeräte von Edwards sind mit allen Instrumentensteuerungen TIC, ADC, TAG sowie anderen aktiven Messgerätesteuerungen und -anzeigen von Edwards kompatibel. Sie sind außerdem CSA- und C/US-zugelassen und dank ihrer bleifreien Bauweise vollständig RoHS-konform. Sie messen Drücke von 1000 bis 10 ^-3 Torr. Die Signalkabel und TIC-Vakuummessgerätesteuerungen sind separat erhältlich. Die Bedienungsanleitung für diese Messgeräte der Edwards APG200-Reihe ist weiter unten im PDF-Format verfügbar. Das APG200 ist in zwei Versionen erhältlich: Die Version „M“ (enthält Standardfilamente aus Wolfram/Rhenium) kann Drücke bis zu 10-3 Torr messen und ist für allgemeine Anwendungen geeignet; Die „LC“-Version (enthält korrosionsbeständige Platin-/Iridiumfilamente) kann Drücke bis zu 10-4 Torr messen und ist auch für den Einsatz in korrosiven Anwendungen geeignet. Diese aktiven Pirani-Vakuummeter Edwards APG200-XM mit standardmäßigen Wolfram-/Rheniumfilamenten und NW16-Vakuumflansch.

Das APG200 kann in jeder beliebigen Ausrichtung montiert werden, die Messrohre werden jedoch einzeln im Werk in Stickstoff kalibriert, während sie vertikal sind. Für eine korrekte Druckanzeige in der von Ihnen gewählten Messgeräteausrichtung sollte das Messgerät bei atmosphärischem Druck neu kalibriert werden. Edwards empfiehlt, das Messrohr vertikal zu montieren, um die Ansammlung von Prozesspartikeln und kondensierbaren Dämpfen im Messgerät zu minimieren. Das APG200 ist für die Verwendung in Stickstoff kalibriert und zeigt korrekte Messwerte mit trockener Luft, Sauerstoff und Kohlenmonoxid an. Für alle anderen Gasarten ist eine Umrechnung erforderlich, um den korrekten Druckwert zu erhalten. Gängige Gase sind: Stickstoff, Argon, Kohlendioxid, Helium, Krypton und Neon.

Features sind:

• Einfacher Zugriff auf das Signalkabel dank kompaktem Gehäuse
• Der Sensor ist bis 150 °C (300 °F) ausbackbar und kann vom Benutzer ausgetauscht werden.
• Einstellbarer Sollwert für einfache Prozesssteuerung und Verriegelung
• Fernkalibrierung möglich
• Druckbereich 10 ^-3 Torr

Hintergrundinformationen zu Pirani- und konvektionsverstärkten Pirani-Messgeräten
Pirani-Vakuummeter können als Wärmeleitfähigkeitsmessgeräte klassifiziert werden und ähneln sehr stark dem Thermoelementmessgerät, bei dem der Widerstand des Heizdrahts gemessen wird, um den Vakuumdruck zu bestimmen. Ein Pirani-Messgerät ist so konzipiert, dass es das Widerstandsungleichgewicht misst, wo der Heizdraht einen der Arme einer Wheatstone-Brückenschaltung bildet. Wenn der Vakuumdruck zunimmt, transportieren Gasmoleküle Wärme vom Heizdraht weg, und der Widerstand des Drucksensors sinkt auf einen niedrigeren Wert, was den Schaltkreis aus dem Gleichgewicht bringt. Der Vakuumdruck wird daher aus dem durch den Druck verursachten Ungleichgewicht in der Wheatstone-Brückenschaltung berechnet. Genau wie bei den Thermoelementmessgeräten steigt die Wärmeleitfähigkeit durch molekulare Kollisionen linear mit dem Druck im Druckbereich von 0,001 bis 1 Torr. Die Wärmeabfuhr wird jedoch nichtlinear, wenn der Druck weiter in den viskosen Strömungsbereich erhöht wird, wo Gas-Gas-Kollisionen die Moleküle zurück zum Heizdraht umorientieren können. Moleküle müssen viele Male kollidieren, bevor sie den äußeren Körper des Sensors (die Wärmesenke) erreichen. Die konvektionsverstärkten Pirani-Messgeräte nutzen den Konventionsstrom im Sensor, um seinen Druckmessbereich bis zum atmosphärischen Druck auszudehnen.

Das Pirani-Messgerät ist ein indirekter Druckmesssensor, dessen Messwerte vom Gastyp abhängen. Es ist Vorsicht geboten, da schwerere Gase schlechte Wärmeübertragungsraten aufweisen und die standardmäßigen konventionell verbesserten Pirani-Messgeräte auf N2 kalibriert sind (im Grunde dieselbe Kalibrierung wie Luft). Dies kann zu gefährlichen Überdruckzuständen führen, wenn ein Vakuumsystem mit einem schwereren Gas wie Argon nachgefüllt wird. Die Gefahr entsteht, wenn der Bediener des Vakuumsystems die Anzeige des Messgeräts nicht auf den richtigen Gastyp korrigiert. Beispielsweise zeigt ein auf N2 kalibriertes Standardmessgerät 24 Torr an, wenn in der Kammer 760 Torr Argon herrschen. Der Bediener würde fälschlicherweise annehmen, dass in der Kammer noch Vakuum herrscht, und das System weiter in einen kritischen Überdruckzustand bringen. Eine weitere Fehlerquelle kann entstehen, wenn das konvektionsverstärkte Pirani-Messgerät nicht richtig montiert wird. Die meisten handelsüblichen Sensoren müssen parallel zum Boden montiert werden. Dadurch fließt der Konventionsstrom im Sensor in die vorgesehene Richtung (es können leicht Fehler von 20 % oder mehr auftreten, wenn der konventionell verbesserte Pirani-Sensor nicht horizontal montiert ist).

Eine schnelle Evakuierung dieser konvektionsverstärkten Pirani-Sensoren führt für einen kurzen Zeitraum von einigen Sekunden zu erheblichen Messfehlern. Da sich die schnell gepumpten Gase ausdehnen, erfolgt die Wärmeabfuhr vom Glühfaden des Drucksensors nicht über einen normalen Konvektionsstrom, sondern wird durch erzwungene Konvektion angetrieben. Während der Vakuumdruck schnell abfällt, dehnen sich die Gase aus und kühlen ab, wodurch ein zweiter Weg zur Wärmeabfuhr vom heißen Sensordraht entsteht. Das konvektionsverstärkte Pirani-Messgerät kann während der Systemevakuierung fälschlicherweise hohe Drücke von bis zu 1000 Torr anzeigen. Sobald der Gasfluss gestoppt wird, stabilisiert sich die Druckanzeige wieder auf einen realistischen Messwert. Aus diesen Gründen sind konvektionsverstärkte Pirani-Messgeräte nicht gut geeignet, um Druckänderungen unter dynamischen Pumpbedingungen zu messen. Insgesamt ist das konvektionsverstärkte Pirani ein beliebtes, kostengünstiges Grobvakuum-Druckmessgerät, das von Atmosphäre bis 1x10-4 Torr messen kann, wobei Messungen unter 1 Torr am genauesten sind.