Edwards Aktives Pirani-Vakuummessgerät APG-MP Edelstahl NW25, KF25, Flansch. 10-3 Torr. Edwards Teilenummer D02182000 Das aktive Pirani-Vakuummessgerät APG-MP von Edwards enthält einen NW25- und KF25-Vakuumflansch, ist kompakt für eine einfache Installation und verfügt über einen linearen Ausgang. Die neuen Messgeräte von Edwards sind mit allen TIC-, ADC-, TAG-Instrumentensteuerungen und anderen aktiven Messgerätesteuerungen und -anzeigen von Edwards kompatibel. Sie sind außerdem CSA-, C/US-zugelassen und aufgrund ihrer bleifreien Konstruktion vollständig RoHS-konform. Sie messen Drücke von 1000 bis 10-3 Torr. Die Signalkabel und TIC-Vakuummeter-Controller sind separat erhältlich. Die Bedienungsanleitung für diese Messgeräte der Serie APG-MP von Edwards ist unten im PDF-Format verfügbar. Dieses Messgerät enthält ein Filament aus Platin/Rhodium (90/10), kann Drücke bis zu 10-3 Torr messen und besteht aus rostfreiem Stahl. Diese Edwards APG-MP Active Pirani-Vakuummessgeräte verfügen über einen KF25 NW25-Vakuumflansch und sind neu mit der Edwards-Teilenummer D02182000. Wenn Sie das APG an einen Edwards AGC-Controller oder ein AGD-Display angeschlossen haben, verwenden Sie das in der mit dem Gerät gelieferten Bedienungsanleitung beschriebene Verfahren zur Sollwertanpassung. Wenn Sie das APG an Ihre eigene Steuerausrüstung angeschlossen haben, verwenden Sie das Verfahren auf Seite 22 des nachstehenden Handbuchs.pdf. Der APG-MP kann in jeder Ausrichtung montiert werden, die Manometerrohre werden jedoch im vertikalen Zustand einzeln werkseitig in Stickstoff kalibriert. Für eine korrekte Druckanzeige in der von Ihnen gewählten Messgerätausrichtung sollte das Messgerät bei atmosphärischem Druck neu kalibriert werden. Edwards empfiehlt die vertikale Montage des Messrohrs, um die Ansammlung von Prozesspartikeln und kondensierbaren Dämpfen im Messgerät zu minimieren. Der APG MP ist für den Einsatz in Stickstoff kalibriert und zeigt bei trockener Luft, Sauerstoff und Kohlenmonoxid korrekte Werte an. Für jede andere Gasart ist eine Umrechnung erforderlich, um den korrekten Druckwert zu erhalten. Häufige Gase sind: Stickstoff, Argon, Kohlendioxid, Helium, Krypton und Neon. Zu den Merkmalen gehören: Einfacher Zugang zum Signalkabel mit kompaktem Gehäuse. Einstellbarer Sollwert für einfache Prozesssteuerung und ineinandergreifende Sollwerte. Fernkalibrierung möglich. Druckbereich 10-3 Torr. Hintergrundinformationen zu Pirani- und konvektionsverstärkten Pirani-Messgeräten. Pirani-Vakuummessgeräte können als Wärmeleitfähigkeitsmessgeräte klassifiziert werden Es ist dem Thermoelement-Messgerät sehr ähnlich, bei dem der Widerstand des erhitzten Drahtes gemessen wird, um den Vakuumdruck zu bestimmen. Ein Pirani-Messgerät dient zur Messung des Widerstandsungleichgewichts dort, wo der erhitzte Heizfaden einen der Arme einer Wheatstone-Brückenschaltung bildet. Wenn der Vakuumdruck steigt, transportieren Gasmoleküle Wärme vom Filament weg und der Widerstand des Drucksensors sinkt auf einen niedrigeren Wert, was den Schaltkreis aus dem Gleichgewicht bringt. Der Vakuumdruck wird daher aus dem druckbedingten Ungleichgewicht in der Wheatstone-Brückenschaltung berechnet. Genau wie bei den Thermoelement-Messgeräten steigt die Wärmeleitfähigkeit durch molekulare Kollisionen linear mit dem Druck im Druckbereich von 0,001 bis 1 Torr. Allerdings wird die Wärmeabfuhr nichtlinear, wenn der Druck weiter in den viskosen Strömungsbereich erhöht wird, wo die Gas-Gas-Kollision die Moleküle wieder zurück in Richtung des erhitzten Drahtes ausrichten kann. Moleküle müssen viele Male kollidieren, bevor sie den äußeren Körper des Sensors (die Wärmesenke) erreichen. Die konvektionsverstärkten Pirani-Messgeräte nutzen die Konventionsströmung im Inneren des Sensors, um seinen Druckmessbereich bis hin zum Atmosphärendruck zu erweitern. Das Pirani-Manometer ist ein indirekter Druckmesssensor, bei dem die gemessenen Messwerte vom Gastyp abhängig sind. Aufgrund der Tatsache, dass schwerere Gase schlechte Wärmeübertragungsraten aufweisen und die standardmäßigen, durch die Konvention erweiterten Pirani-Messgeräte für N2 kalibriert sind (im Grunde die gleiche Kalibrierung wie Luft), ist Vorsicht geboten. Dies könnte zu gefährlichen Überdruckbedingungen führen, wenn ein Vakuumsystem mit einem schwereren Gas wie Argon rückgefüllt wird. Die Gefahr entsteht, wenn der Bediener des Vakuumsystems den Anzeigewert des Messgeräts nicht für den richtigen Gastyp korrigiert, z. B. zeigt ein für N2 kalibriertes Standardmessgerät 24 Torr an, wenn die Kammer 760 Torr Argon hat. Der Bediener würde zu der Annahme verleitet, dass die Kammer immer noch unter Vakuum stünde, und das System weiter auf einen kritischen Überdruckzustand erhöhen. Eine weitere Fehlerquelle kann entstehen, wenn das konvektionsverstärkte Pirani-Messgerät nicht korrekt montiert wird. Die meisten kommerziellen Sensoren erfordern eine parallele Montage zum Boden. Dadurch bleibt der Konventionsstrom im Inneren des Sensors in der vorgesehenen Richtung fließen (Fehler von 20 % oder mehr können leicht auftreten, wenn der konventionsverstärkte Pirani-Sensor nicht horizontal montiert wird). Eine schnelle Evakuierung dieser konvektionsverstärkten Pirani-Sensoren führt für einen kurzen Zeitraum von mehreren Sekunden zu erheblichen Messfehlern. Da sich die schnell gepumpten Gase ausdehnen, erfolgt die Wärmeabfuhr vom Drucksensorfaden nicht durch einen normalen Konvektionsstrom, sondern durch erzwungene Konvektion. Während der Vakuumdruck schnell abfällt, dehnen sich die Gase aus und kühlen ab. Dies bietet einen sekundären Weg zur Wärmeableitung vom heißen Sensordraht. Das konvektionsverstärkte Pirani-Manometer kann während der Evakuierung des Systems fälschlicherweise hohe Drücke bis zu 1000 Torr anzeigen. Sobald der Gasfluss gestoppt wird, stabilisiert sich der Druckwert wieder auf einem realistischen Messwert. Aus diesen Gründen eignen sich konvektionsverstärkte Pirani-Manometer nicht gut zur Messung von Druckänderungen unter dynamischen Pumpbedingungen. Insgesamt ist der konvektionsverstärkte Pirani ein beliebtes, kostengünstiges Grobvakuum-Druckmessgerät, das Messungen von Atmosphäre bis 1x10-4 Torr durchführen kann, wobei Messungen unter 1 Torr am genauesten sind.

Edwards ERSATZSENSOR für APG100-XM Active Pirani Vakuummeter DN16CF, Conflat CF 1,33 Zoll, Flansch. 10-3 Torr. Edwards Teilenummer NRD711000 Die Edwards APG100-XM Ersatz-Messrohrsensoren (Standard-Wolfram/Rhenium-Filamente) verfügen über einen DN16CF-Vakuumflansch (Conflat CF 1,33 Zoll) und sind so konzipiert, dass sie in das aktive Pirani Electronics-Gehäuse APG100-XLC passen. Sie sind eine kostengünstige Reparaturlösung. Die neuen Messgeräte von Edwards sind mit allen TIC-, ADC-, TAG-Instrumentensteuerungen und anderen aktiven Messgerätesteuerungen und -anzeigen von Edwards kompatibel. Der APG100 ist in zwei Versionen erhältlich: Die „M“-Version (enthält Standard-Wolfram/Rhenium-Filamente) kann Drücke bis zu 10-3 Tor messen und ist für allgemeine Anwendungen geeignet; Die „LC“-Version (enthält korrosionsbeständige Platin/Iridium-Filamente) kann Drücke bis zu 10-4 Torr messen und ist auch für den Einsatz in korrosiven Anwendungen geeignet. Der APG100 kann in jeder Ausrichtung montiert werden, die Manometerrohre sind jedoch im vertikalen Zustand einzeln werkseitig in Stickstoff kalibriert. Für eine korrekte Druckanzeige in der von Ihnen gewählten Messgerätausrichtung sollte das Messgerät bei atmosphärischem Druck neu kalibriert werden. Edwards empfiehlt die vertikale Montage des Messrohrs, um die Ansammlung von Prozesspartikeln und kondensierbaren Dämpfen im Messgerät zu minimieren. Der APG100 ist für den Einsatz in Stickstoff kalibriert und zeigt bei trockener Luft, Sauerstoff und Kohlenmonoxid korrekte Werte an. Für jede andere Gasart ist eine Umrechnung erforderlich, um den korrekten Druckwert zu erhalten. Häufige Gase sind: Stickstoff, Argon, Kohlendioxid, Helium, Krypton und Neon. Sie sind außerdem CSA-, C/US-zugelassen und aufgrund ihrer bleifreien Konstruktion vollständig RoHS-konform. Druckbereich bis 10-3 Torr. Das Signalkabel und der Vakuummeter-Controller sind separat erhältlich. Die Bedienungsanleitung für diese Messgeräte der Serie APG100 von Edwards ist unten im PDF-Format verfügbar. Diese aktiven Pirani-Vakuummessgerät-Ersatzsensoren APG100-XM von Edwards verfügen über einen DN16CF-Vakuumflansch (Conflat CF 1,33 Zoll) und die Edwards-Teilenummer NRD711000. Zu den Merkmalen gehören: Einfacher Zugang zum Signalkabel mit kompaktem Gehäuse. Der Sensor kann auf 150 °C (300 °F) erhitzt werden und der Sensor kann vom Benutzer ausgetauscht werden. Einstellbarer Sollwert für einfache Prozesssteuerung und Verriegelung. Fernkalibrierung möglich. Druckbereich 10–3 Torr Hintergrund bei Pirani und Konvektion Verbesserte Pirani-Vakuummessgeräte Pirani-Vakuummessgeräte können als Wärmeleitfähigkeitsmessgeräte klassifiziert werden, die dem Thermoelementmessgerät sehr ähnlich sind, bei dem der Widerstand des erhitzten Drahtes gemessen wird, um den Vakuumdruck zu bestimmen. Ein Pirani-Messgerät dient zur Messung des Widerstandsungleichgewichts dort, wo der erhitzte Heizfaden einen der Arme einer Wheatstone-Brückenschaltung bildet. Wenn der Vakuumdruck steigt, transportieren Gasmoleküle Wärme vom Filament weg und der Widerstand des Drucksensors sinkt auf einen niedrigeren Wert, was den Schaltkreis aus dem Gleichgewicht bringt. Der Vakuumdruck wird daher aus dem druckbedingten Ungleichgewicht in der Wheatstone-Brückenschaltung berechnet. Genau wie bei den Thermoelement-Messgeräten steigt die Wärmeleitfähigkeit durch molekulare Kollisionen linear mit dem Druck im Druckbereich von 0,001 bis 1 Torr. Allerdings wird die Wärmeabfuhr nichtlinear, wenn der Druck weiter in den viskosen Strömungsbereich erhöht wird, wo die Gas-Gas-Kollision die Moleküle wieder zurück in Richtung des erhitzten Drahtes ausrichten kann. Moleküle müssen viele Male kollidieren, bevor sie den äußeren Körper des Sensors (die Wärmesenke) erreichen. Die konvektionsverstärkten Pirani-Messgeräte nutzen die Konventionsströmung im Inneren des Sensors, um seinen Druckmessbereich bis hin zum Atmosphärendruck zu erweitern. Das Pirani-Manometer ist ein indirekter Druckmesssensor, bei dem die gemessenen Messwerte vom Gastyp abhängig sind. Aufgrund der Tatsache, dass schwerere Gase schlechte Wärmeübertragungsraten aufweisen und die standardmäßigen, durch die Konvention erweiterten Pirani-Messgeräte für N2 kalibriert sind (im Grunde die gleiche Kalibrierung wie Luft), ist Vorsicht geboten. Dies könnte zu gefährlichen Überdruckbedingungen führen, wenn ein Vakuumsystem mit einem schwereren Gas wie Argon rückgefüllt wird. Die Gefahr entsteht, wenn der Bediener des Vakuumsystems den Anzeigewert des Messgeräts nicht für den richtigen Gastyp korrigiert, z. B. zeigt ein für N2 kalibriertes Standardmessgerät 24 Torr an, wenn die Kammer 760 Torr Argon hat. Der Bediener würde zu der Annahme verleitet, dass die Kammer immer noch unter Vakuum stünde, und das System weiter auf einen kritischen Überdruckzustand erhöhen. Eine weitere Fehlerquelle kann entstehen, wenn das konvektionsverstärkte Pirani-Messgerät nicht korrekt montiert wird. Die meisten kommerziellen Sensoren erfordern eine parallele Montage zum Boden. Dadurch bleibt der Konventionsstrom im Inneren des Sensors in der vorgesehenen Richtung fließen (Fehler von 20 % oder mehr können leicht auftreten, wenn der konventionsverstärkte Pirani-Sensor nicht horizontal montiert wird). Eine schnelle Evakuierung dieser konvektionsverstärkten Pirani-Sensoren führt für einen kurzen Zeitraum von mehreren Sekunden zu erheblichen Messfehlern. Da sich die schnell gepumpten Gase ausdehnen, erfolgt die Wärmeabfuhr vom Drucksensorfaden nicht durch einen normalen Konvektionsstrom, sondern durch erzwungene Konvektion. Während der Vakuumdruck schnell abfällt, dehnen sich die Gase aus und kühlen ab. Dies bietet einen sekundären Weg zur Wärmeableitung vom heißen Sensordraht. Das konvektionsverstärkte Pirani-Manometer kann während der Evakuierung des Systems fälschlicherweise hohe Drücke bis zu 1000 Torr anzeigen. Sobald der Gasfluss gestoppt wird, stabilisiert sich der Druckwert wieder auf einem realistischen Messwert. Aus diesen Gründen eignen sich konvektionsverstärkte Pirani-Manometer nicht gut zur Messung von Druckänderungen unter dynamischen Pumpbedingungen. Insgesamt ist der konvektionsverstärkte Pirani ein beliebtes, kostengünstiges Grobvakuum-Druckmessgerät, das Messungen von Atmosphäre bis 1x10-4 Torr durchführen kann, wobei Messungen unter 1 Torr am genauesten sind.

Edwards ERSATZSENSOR für APG100-XLC Aktives Pirani-Vakuummessgerät NW16, KF16-Flansch. Korrosionsbeständig. 10-4 Torr. Edwards-Teilenummer D02603801 Die Edwards APG100-XLC-Ersatzmessrohrsensoren (korrosionsbeständige Platin-/Iridium-Filamente) verfügen über einen NW25-Vakuumflansch (KF25) und sind für das Gehäuse von APG100-XM Active Pirani Electronics ausgelegt. Sie sind eine kostengünstige Reparaturlösung. Die neuen Messgeräte von Edwards sind mit allen TIC-, ADC-, TAG-Instrumentensteuerungen und anderen aktiven Messgerätesteuerungen und -anzeigen von Edwards kompatibel. Der APG100 ist in zwei Versionen erhältlich: Die „M“-Version (enthält Standard-Wolfram/Rhenium-Filamente) kann Drücke bis zu 10-3 Tor messen und ist für allgemeine Anwendungen geeignet; Die „LC“-Version (enthält korrosionsbeständige Platin/Iridium-Filamente) kann Drücke bis zu 10-4 Torr messen und ist auch für den Einsatz in korrosiven Anwendungen geeignet. Der APG100 kann in jeder Ausrichtung montiert werden, die Manometerrohre sind jedoch im vertikalen Zustand einzeln werkseitig in Stickstoff kalibriert. Für eine korrekte Druckanzeige in der von Ihnen gewählten Messgerätausrichtung sollte das Messgerät bei atmosphärischem Druck neu kalibriert werden. Edwards empfiehlt die vertikale Montage des Messrohrs, um die Ansammlung von Prozesspartikeln und kondensierbaren Dämpfen im Messgerät zu minimieren. Der APG100 ist für den Einsatz in Stickstoff kalibriert und zeigt bei trockener Luft, Sauerstoff und Kohlenmonoxid korrekte Werte an. Für jede andere Gasart ist eine Umrechnung erforderlich, um den korrekten Druckwert zu erhalten. Häufige Gase sind: Stickstoff, Argon, Kohlendioxid, Helium, Krypton und Neon. Sie sind außerdem CSA-, C/US-zugelassen und aufgrund ihrer bleifreien Konstruktion vollständig RoHS-konform. Druckbereich bis 10-3 Torr. Das Signalkabel und der Vakuummeter-Controller sind separat erhältlich. Die Bedienungsanleitung für diese Messgeräte der Serie APG100 von Edwards ist unten im PDF-Format verfügbar. Diese aktiven Pirani-Vakuummeter-Ersatzsensoren APG100-XLC von Edwards haben einen Vakuumflansch NW16 (KF16) und die Edwards-Teilenummer D02603801. Zu den Merkmalen gehören: Einfacher Zugang zum Signalkabel mit kompaktem Gehäuse. Der Sensor kann auf 150 °C (300 °F) erhitzt werden und der Sensor kann vom Benutzer ausgetauscht werden. Einstellbarer Sollwert für einfache Prozesssteuerung und Verriegelung. Fernkalibrierung möglich. Korrosionsbeständig. Druckbereich 10–4 Torr Hintergrund auf Pirani und konvektionsverstärkte Pirani-Messgeräte Pirani-Vakuummessgeräte können als Wärmeleitfähigkeitsmessgeräte klassifiziert werden, die dem Thermoelementmessgerät sehr ähnlich sind, bei dem der Widerstand des erhitzten Drahtes gemessen wird, um den Vakuumdruck zu bestimmen. Ein Pirani-Messgerät dient zur Messung des Widerstandsungleichgewichts dort, wo der erhitzte Heizfaden einen der Arme einer Wheatstone-Brückenschaltung bildet. Wenn der Vakuumdruck steigt, transportieren Gasmoleküle Wärme vom Filament weg und der Widerstand des Drucksensors sinkt auf einen niedrigeren Wert, was den Schaltkreis aus dem Gleichgewicht bringt. Der Vakuumdruck wird daher aus dem druckbedingten Ungleichgewicht in der Wheatstone-Brückenschaltung berechnet. Genau wie bei den Thermoelement-Messgeräten steigt die Wärmeleitfähigkeit durch molekulare Kollisionen linear mit dem Druck im Druckbereich von 0,001 bis 1 Torr. Allerdings wird die Wärmeabfuhr nichtlinear, wenn der Druck weiter in den viskosen Strömungsbereich erhöht wird, wo die Gas-Gas-Kollision die Moleküle wieder zurück in Richtung des erhitzten Drahtes ausrichten kann. Moleküle müssen viele Male kollidieren, bevor sie den äußeren Körper des Sensors (die Wärmesenke) erreichen. Die konvektionsverstärkten Pirani-Messgeräte nutzen die Konventionsströmung im Inneren des Sensors, um seinen Druckmessbereich bis hin zum Atmosphärendruck zu erweitern. Das Pirani-Manometer ist ein indirekter Druckmesssensor, bei dem die gemessenen Messwerte vom Gastyp abhängig sind. Aufgrund der Tatsache, dass schwerere Gase schlechte Wärmeübertragungsraten aufweisen und die standardmäßigen, durch die Konvention erweiterten Pirani-Messgeräte für N2 kalibriert sind (im Grunde die gleiche Kalibrierung wie Luft), ist Vorsicht geboten. Dies könnte zu gefährlichen Überdruckbedingungen führen, wenn ein Vakuumsystem mit einem schwereren Gas wie Argon rückgefüllt wird. Die Gefahr entsteht, wenn der Bediener des Vakuumsystems den Anzeigewert des Messgeräts nicht für den richtigen Gastyp korrigiert, z. B. zeigt ein für N2 kalibriertes Standardmessgerät 24 Torr an, wenn die Kammer 760 Torr Argon hat. Der Bediener würde zu der Annahme verleitet, dass die Kammer immer noch unter Vakuum stünde, und das System weiter auf einen kritischen Überdruckzustand erhöhen. Eine weitere Fehlerquelle kann entstehen, wenn das konvektionsverstärkte Pirani-Messgerät nicht korrekt montiert wird. Die meisten kommerziellen Sensoren erfordern eine parallele Montage zum Boden. Dadurch bleibt der Konventionsstrom im Inneren des Sensors in der vorgesehenen Richtung fließen (Fehler von 20 % oder mehr können leicht auftreten, wenn der konventionsverstärkte Pirani-Sensor nicht horizontal montiert wird). Eine schnelle Evakuierung dieser konvektionsverstärkten Pirani-Sensoren führt für einen kurzen Zeitraum von mehreren Sekunden zu erheblichen Messfehlern. Da sich die schnell gepumpten Gase ausdehnen, erfolgt die Wärmeabfuhr vom Drucksensorfaden nicht durch einen normalen Konvektionsstrom, sondern durch erzwungene Konvektion. Während der Vakuumdruck schnell abfällt, dehnen sich die Gase aus und kühlen ab. Dies bietet einen sekundären Weg zur Wärmeableitung vom heißen Sensordraht. Das konvektionsverstärkte Pirani-Manometer kann während der Evakuierung des Systems fälschlicherweise hohe Drücke bis zu 1000 Torr anzeigen. Sobald der Gasfluss gestoppt wird, stabilisiert sich der Druckwert wieder auf einem realistischen Messwert. Aus diesen Gründen eignen sich konvektionsverstärkte Pirani-Manometer nicht gut zur Messung von Druckänderungen unter dynamischen Pumpbedingungen. Insgesamt ist der konvektionsverstärkte Pirani ein beliebtes, kostengünstiges Grobvakuum-Druckmessgerät, das Messungen von Atmosphäre bis 1x10-4 Torr durchführen kann, wobei Messungen unter 1 Torr am genauesten sind.

Edwards ERSATZSENSOR für APG100-XLC Aktives Pirani-Vakuummessgerät NW25, KF25-Flansch. Korrosionsbeständig. 10-4 Torr. Edwards-Teilenummer D02604801 Die Edwards APG100-XLC-Ersatzmessrohrsensoren (korrosionsbeständige Platin-/Iridiumfilamente) verfügen über einen NW25-Vakuumflansch (KF25) und sind so konzipiert, dass sie in das APG100-XM Active Pirani Electronics-Gehäuse passen. Sie sind eine kostengünstige Reparaturlösung. Die neuen Messgeräte von Edwards sind mit allen TIC-, ADC-, TAG-Instrumentensteuerungen und anderen aktiven Messgerätesteuerungen und -anzeigen von Edwards kompatibel. Der APG100 ist in zwei Versionen erhältlich: Die „M“-Version (enthält Standard-Wolfram/Rhenium-Filamente) kann Drücke bis zu 10-3 Tor messen und ist für allgemeine Anwendungen geeignet; Die „LC“-Version (enthält korrosionsbeständige Platin/Iridium-Filamente) kann Drücke bis zu 10-4 Torr messen und ist auch für den Einsatz in korrosiven Anwendungen geeignet. Der APG100 kann in jeder Ausrichtung montiert werden, die Manometerrohre sind jedoch im vertikalen Zustand einzeln werkseitig in Stickstoff kalibriert. Für eine korrekte Druckanzeige in der von Ihnen gewählten Messgerätausrichtung sollte das Messgerät bei atmosphärischem Druck neu kalibriert werden. Edwards empfiehlt die vertikale Montage des Messrohrs, um die Ansammlung von Prozesspartikeln und kondensierbaren Dämpfen im Messgerät zu minimieren. Der APG100 ist für den Einsatz in Stickstoff kalibriert und zeigt bei trockener Luft, Sauerstoff und Kohlenmonoxid korrekte Werte an. Für jede andere Gasart ist eine Umrechnung erforderlich, um den korrekten Druckwert zu erhalten. Die Abbildungen 7 und 8 zeigen die Umrechnung für 6 gängige Gase: Stickstoff, Argon, Kohlendioxid, Helium, Krypton und Neon. Sie sind außerdem CSA-, C/US-zugelassen und aufgrund ihrer bleifreien Konstruktion vollständig RoHS-konform. Druckbereich bis 10-3 Torr. Das Signalkabel und der Vakuummeter-Controller sind separat erhältlich. Die Bedienungsanleitung für diese Messgeräte der Serie APG100 von Edwards ist unten im PDF-Format verfügbar. Diese aktiven Pirani-Vakuummeter-Ersatzsensoren APG100-XM von Edwards haben einen Vakuumflansch NW25 (KF25) und die Edwards-Teilenummer D02604801. Zu den Merkmalen gehören: Einfacher Zugang zum Signalkabel mit kompaktem Gehäuse. Der Sensor kann auf 150 °C (300 °F) erhitzt werden und der Sensor kann vom Benutzer ausgetauscht werden. Einstellbarer Sollwert für einfache Prozesssteuerung und Verriegelung. Fernkalibrierung möglich. Korrosionsbeständig. Druckbereich 10–4 Torr Hintergrund auf Pirani und konvektionsverstärkte Pirani-Messgeräte Pirani-Vakuummessgeräte können als Wärmeleitfähigkeitsmessgeräte klassifiziert werden, die dem Thermoelementmessgerät sehr ähnlich sind, bei dem der Widerstand des erhitzten Drahtes gemessen wird, um den Vakuumdruck zu bestimmen. Ein Pirani-Messgerät dient zur Messung des Widerstandsungleichgewichts dort, wo der erhitzte Heizfaden einen der Arme einer Wheatstone-Brückenschaltung bildet. Wenn der Vakuumdruck steigt, transportieren Gasmoleküle Wärme vom Filament weg und der Widerstand des Drucksensors sinkt auf einen niedrigeren Wert, was den Schaltkreis aus dem Gleichgewicht bringt. Der Vakuumdruck wird daher aus dem druckbedingten Ungleichgewicht in der Wheatstone-Brückenschaltung berechnet. Genau wie bei den Thermoelement-Messgeräten steigt die Wärmeleitfähigkeit durch molekulare Kollisionen linear mit dem Druck im Druckbereich von 0,001 bis 1 Torr. Allerdings wird die Wärmeabfuhr nichtlinear, wenn der Druck weiter in den viskosen Strömungsbereich erhöht wird, wo die Gas-Gas-Kollision die Moleküle wieder zurück in Richtung des erhitzten Drahtes ausrichten kann. Moleküle müssen viele Male kollidieren, bevor sie den äußeren Körper des Sensors (die Wärmesenke) erreichen. Die konvektionsverstärkten Pirani-Messgeräte nutzen die Konventionsströmung im Inneren des Sensors, um seinen Druckmessbereich bis hin zum Atmosphärendruck zu erweitern. Beim Pirani-Manometer handelt es sich um einen indirekten Druckmesssensor, bei dem die Messwerte vom Gastyp abhängig sind. Aufgrund der Tatsache, dass schwerere Gase schlechte Wärmeübertragungsraten aufweisen und die standardmäßigen, durch die Konvention erweiterten Pirani-Messgeräte für N2 kalibriert sind (im Grunde die gleiche Kalibrierung wie Luft), ist Vorsicht geboten. Dies könnte zu gefährlichen Überdruckbedingungen führen, wenn ein Vakuumsystem mit einem schwereren Gas wie Argon rückgefüllt wird. Die Gefahr entsteht, wenn der Bediener des Vakuumsystems den Anzeigewert des Messgeräts nicht für den richtigen Gastyp korrigiert, z. B. zeigt ein für N2 kalibriertes Standardmessgerät 24 Torr an, wenn die Kammer 760 Torr Argon hat. Der Bediener würde zu der Annahme verleitet, dass die Kammer immer noch unter Vakuum stünde, und das System weiter auf einen kritischen Überdruckzustand erhöhen. Eine weitere Fehlerquelle kann entstehen, wenn das konvektionsverstärkte Pirani-Messgerät nicht korrekt montiert wird. Die meisten kommerziellen Sensoren erfordern eine parallele Montage zum Boden. Dadurch bleibt der Konventionsstrom im Inneren des Sensors in der vorgesehenen Richtung fließen (Fehler von 20 % oder mehr können leicht auftreten, wenn der konventionsverstärkte Pirani-Sensor nicht horizontal montiert wird). Eine schnelle Evakuierung dieser konvektionsverstärkten Pirani-Sensoren führt für einen kurzen Zeitraum von mehreren Sekunden zu erheblichen Messfehlern. Da sich die schnell gepumpten Gase ausdehnen, erfolgt die Wärmeabfuhr vom Drucksensorfaden nicht durch einen normalen Konvektionsstrom, sondern durch erzwungene Konvektion. Während der Vakuumdruck schnell abfällt, dehnen sich die Gase aus und kühlen ab. Dies bietet einen sekundären Weg zur Wärmeableitung vom heißen Sensordraht. Das konvektionsverstärkte Pirani-Manometer kann während der Evakuierung des Systems fälschlicherweise hohe Drücke bis zu 1000 Torr anzeigen. Sobald der Gasfluss gestoppt wird, stabilisiert sich der Druckwert wieder auf einem realistischen Messwert. Aus diesen Gründen eignen sich konvektionsverstärkte Pirani-Manometer nicht gut zur Messung von Druckänderungen unter dynamischen Pumpbedingungen. Insgesamt ist der konvektionsverstärkte Pirani ein beliebtes, kostengünstiges Grobvakuum-Druckmessgerät, das Messungen von Atmosphäre bis 1x10-4 Torr durchführen kann, wobei Messungen unter 1 Torr am genauesten sind.

Edwards ERSATZSENSOR für APG100-XLC Aktives Pirani-Vakuummessgerät, korrosionsbeständig, DN16CF, CF 1,33 Zoll, Flansch. 10-4 Torr. Edwards-Teilenummer NRD713000 Die Edwards APG100-XLC-Ersatzmessrohrsensoren (korrosionsbeständige Platin-/Iridiumfilamente) verfügen über einen DN16CF-Vakuumflansch (Conflat CF 1,33 Zoll) und sind so konzipiert, dass sie in das aktive Pirani Electronics-Gehäuse APG100-XLC passen. Sie sind eine kostengünstige Reparaturlösung. Die neuen Messgeräte von Edwards sind mit allen TIC-, ADC-, TAG-Instrumentensteuerungen und anderen aktiven Messgerätesteuerungen und -anzeigen von Edwards kompatibel. Der APG100 ist in zwei Versionen erhältlich: Die „M“-Version (enthält Standard-Wolfram/Rhenium-Filamente) kann Drücke bis zu 10-3 Tor messen und ist für allgemeine Anwendungen geeignet; Die „LC“-Version (enthält korrosionsbeständige Platin/Iridium-Filamente) kann Drücke bis zu 10-4 Torr messen und ist auch für den Einsatz in korrosiven Anwendungen geeignet. Der APG100 kann in jeder Ausrichtung montiert werden, die Manometerrohre sind jedoch im vertikalen Zustand einzeln werkseitig in Stickstoff kalibriert. Für eine korrekte Druckanzeige in der von Ihnen gewählten Messgerätausrichtung sollte das Messgerät bei atmosphärischem Druck neu kalibriert werden. Edwards empfiehlt die vertikale Montage des Messrohrs, um die Ansammlung von Prozesspartikeln und kondensierbaren Dämpfen im Messgerät zu minimieren. Der APG100 ist für den Einsatz in Stickstoff kalibriert und zeigt bei trockener Luft, Sauerstoff und Kohlenmonoxid korrekte Werte an. Für jede andere Gasart ist eine Umrechnung erforderlich, um den korrekten Druckwert zu erhalten. Häufige Gase sind: Stickstoff, Argon, Kohlendioxid, Helium, Krypton und Neon. Sie sind außerdem CSA-, C/US-zugelassen und aufgrund ihrer bleifreien Konstruktion vollständig RoHS-konform. Druckbereich bis 10-3 Torr. Das Signalkabel und der Vakuummeter-Controller sind separat erhältlich. Die Bedienungsanleitung für diese Messgeräte der Serie APG100 von Edwards ist unten im PDF-Format verfügbar. Diese aktiven Pirani-Vakuummessgerät-Ersatzsensoren APG100-XLC von Edwards verfügen über einen DN16CF-Vakuumflansch (Conflat CF 1,33 Zoll) und die Edwards-Teilenummer NRD713000. Zu den Merkmalen gehören: Einfacher Zugang zum Signalkabel mit kompaktem Gehäuse. Der Sensor kann auf 150 °C (300 °F) erhitzt werden und der Sensor kann vom Benutzer ausgetauscht werden. Einstellbarer Sollwert für einfache Prozesssteuerung und Verriegelung. Fernkalibrierung möglich. Korrosionsbeständig. Druckbereich 10–4 Torr Hintergrund auf Pirani und konvektionsverstärkte Pirani-Messgeräte Pirani-Vakuummessgeräte können als Wärmeleitfähigkeitsmessgeräte klassifiziert werden, die dem Thermoelementmessgerät sehr ähnlich sind, bei dem der Widerstand des erhitzten Drahtes gemessen wird, um den Vakuumdruck zu bestimmen. Ein Pirani-Messgerät dient zur Messung des Widerstandsungleichgewichts dort, wo der erhitzte Heizfaden einen der Arme einer Wheatstone-Brückenschaltung bildet. Wenn der Vakuumdruck steigt, transportieren Gasmoleküle Wärme vom Filament weg und der Widerstand des Drucksensors sinkt auf einen niedrigeren Wert, was den Schaltkreis aus dem Gleichgewicht bringt. Der Vakuumdruck wird daher aus dem druckbedingten Ungleichgewicht in der Wheatstone-Brückenschaltung berechnet. Genau wie bei den Thermoelement-Messgeräten steigt die Wärmeleitfähigkeit durch molekulare Kollisionen linear mit dem Druck im Druckbereich von 0,001 bis 1 Torr. Allerdings wird die Wärmeabfuhr nichtlinear, wenn der Druck weiter in den viskosen Strömungsbereich erhöht wird, wo die Gas-Gas-Kollision die Moleküle wieder zurück in Richtung des erhitzten Drahtes ausrichten kann. Moleküle müssen viele Male kollidieren, bevor sie den äußeren Körper des Sensors (die Wärmesenke) erreichen. Die konvektionsverstärkten Pirani-Messgeräte nutzen die Konventionsströmung im Inneren des Sensors, um seinen Druckmessbereich bis hin zum Atmosphärendruck zu erweitern. Das Pirani-Manometer ist ein indirekter Druckmesssensor, bei dem die gemessenen Messwerte vom Gastyp abhängig sind. Aufgrund der Tatsache, dass schwerere Gase schlechte Wärmeübertragungsraten aufweisen und die standardmäßigen, durch die Konvention erweiterten Pirani-Messgeräte für N2 kalibriert sind (im Grunde die gleiche Kalibrierung wie Luft), ist Vorsicht geboten. Dies könnte zu gefährlichen Überdruckbedingungen führen, wenn ein Vakuumsystem mit einem schwereren Gas wie Argon rückgefüllt wird. Die Gefahr entsteht, wenn der Bediener des Vakuumsystems den Anzeigewert des Messgeräts nicht für den richtigen Gastyp korrigiert, z. B. zeigt ein für N2 kalibriertes Standardmessgerät 24 Torr an, wenn die Kammer 760 Torr Argon hat. Der Bediener würde zu der Annahme verleitet, dass die Kammer immer noch unter Vakuum stünde, und das System weiter auf einen kritischen Überdruckzustand erhöhen. Eine weitere Fehlerquelle kann entstehen, wenn das konvektionsverstärkte Pirani-Messgerät nicht korrekt montiert wird. Die meisten kommerziellen Sensoren erfordern eine parallele Montage zum Boden. Dadurch bleibt der Konventionsstrom im Inneren des Sensors in der vorgesehenen Richtung fließen (Fehler von 20 % oder mehr können leicht auftreten, wenn der konventionsverstärkte Pirani-Sensor nicht horizontal montiert wird). Eine schnelle Evakuierung dieser konvektionsverstärkten Pirani-Sensoren führt für einen kurzen Zeitraum von mehreren Sekunden zu erheblichen Messfehlern. Da sich die schnell gepumpten Gase ausdehnen, erfolgt die Wärmeabfuhr vom Drucksensorfaden nicht durch einen normalen Konvektionsstrom, sondern durch erzwungene Konvektion. Während der Vakuumdruck schnell abfällt, dehnen sich die Gase aus und kühlen ab. Dies bietet einen sekundären Weg zur Wärmeableitung vom heißen Sensordraht. Das konvektionsverstärkte Pirani-Manometer kann während der Evakuierung des Systems fälschlicherweise hohe Drücke bis zu 1000 Torr anzeigen. Sobald der Gasfluss gestoppt wird, stabilisiert sich der Druckwert wieder auf einem realistischen Messwert. Aus diesen Gründen eignen sich konvektionsverstärkte Pirani-Manometer nicht gut zur Messung von Druckänderungen unter dynamischen Pumpbedingungen. Insgesamt ist der konvektionsverstärkte Pirani ein beliebtes, kostengünstiges Grobvakuum-Druckmessgerät, das Messungen von Atmosphäre bis 1x10-4 Torr durchführen kann, wobei Messungen unter 1 Torr am genauesten sind.